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低温等离子体技术在气态污染物治理方面优势显著。其基本原理是在电场的加速作用下，产生电子，当电子平均能量超过目标治理物分子化学键能时，分子键断裂，达到气态污染物的目的。
低温等离子体技术处理污染物的原理为：低温等离子设备在外加电场的作用下，介质放电产生的大量携能电子轰击污染物分子，使其电离、解离和激发，然后便引发了一系列复杂的物理、化学反应，使复杂大分子污染物转变为简单小分子物质，或使物质转变成或低毒低害的物质，从而使污染物得以降解去除。因其电离后产生的电子平均能量在10ev ，低温等离子设备适当控制反应条件可以实现一般情况下难以实现或速度很慢的化学反应变得。作为环境污染处理中的一项具有强优势的高，等离子体受到了化工废气治理方面的高度评价。
应用：
1.治理油烟粉尘，如大型火力发电厂、卷烟厂、纺织品厂、印刷厂、造纸厂、钢铁厂、水泥厂等。
2.治理废气、异味气体，如污水处理厂、泵站、化工厂、制药厂、香精厂、屠宰场等。
3.空气净化，如医院、餐饮、宾馆、娱乐场、车船，候车室等公共场所等。
总之，低温等离子技术，在使用运行的时候是不需要任何吸附剂、催化剂及其他任何助燃燃料的，是属于干法处理的方法，通常只需采用220V或380v交流电，经过专门的设备来获得高频脉冲电场，产生量电子，对有毒、的分子来进行轰击分解。具有、操作简单、运行费用低、治理、技术等特点。
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